由于大工件在研磨時(shí)，所磨的面積比小工件要大很多，所以選擇的研磨盤，壓重塊等肯定也是要大很多的。大面積的工件在固定和加壓時(shí)，如果稍微有一點(diǎn)點(diǎn)受力不均勻，所受到的張力也就越大，容易產(chǎn)生斷裂。而小工件，這種壓力點(diǎn)不均勻的概率遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于大尺寸工件，并且小工件平放受壓時(shí)所受張力沒(méi)那么大，不容易碎。

 

  其次，我們進(jìn)行對(duì)比論證：400mm直徑的工件和30mm直徑的工件同時(shí)放在研磨拋光機(jī)上進(jìn)行研磨，面積小的比面積大的受力均勻，切削速度也要快一倍。而面積大的工件，磨削過(guò)程中由于受力面廣，效果不均勻的概率要大，所以更加難以實(shí)現(xiàn)效果。

 

  最后，我們舉一個(gè)實(shí)際的例子來(lái)進(jìn)行最后說(shuō)明：我們從實(shí)驗(yàn)室拿兩塊厚度均等的硅片來(lái)做實(shí)驗(yàn)，硅片1，直徑500mm厚度1mm，硅片2，直徑20mm，厚度1mm，將他們同時(shí)放到13-6B雙面研磨機(jī)上進(jìn)行研磨。要求效果：平面度2u,平行度：2u，鏡面效果。開啟設(shè)備后，采用相同的研磨耗材對(duì)兩塊工件同時(shí)研磨，在研磨10分鐘后，硅片1，表面三項(xiàng)指標(biāo)均為達(dá)到；硅片2，完美達(dá)到。

 

  由此三點(diǎn)，我們得出大小工件研磨難度有著很大差異性。在研磨要求均等的情況下，大工件較難實(shí)現(xiàn)一些，且所花的時(shí)間更長(zhǎng)一些。而小工件則較易實(shí)現(xiàn)，研磨效率也要高于大尺寸工件。