超精密平面研磨是超精密加工中最重要的方法之一，在制造業占有非常重要的地位且有著廣闊的市場需求，光學鏡面、計算機芯片、量塊等都是使用超精密平面研磨加工出來的。超精密平面研磨過程中，如果研磨工藝參數配置不合理，如研磨壓力選用不合適、磨盤硬度選用不合理、磨料尺寸分散性較大等，都會影響工件的加工效率及加工質量。研磨壓力是影響研磨加工的效率的主要因素，同時對加工質量也有影響。其它條件一致的前提下，如果研磨壓力在一定范圍內增大，工件表面磨粒劃痕相對深一些，表面粗糙度也會變大，但當研磨壓力增加到一定程度后，表面粗糙度不再隨壓力增加發生變化面基木保持不變。研磨效率隨著研磨壓力地增大面基木成正比地提高，但是研磨壓力也不可以無限制地增加，過大的壓力可能引起試件的破碎以及磨粒的壓碎等問題。

 

　　研磨的作用是會隨著研磨壓力的提高面增加，在平面研磨機進行研磨時，壓力增加后，磨粒的嵌進工件比較深，切屑也會增加，在研磨壓力應用范圍內，研磨壓力主要是通過人力或者是機械方方通過重量壓力所產生的。

　　研磨壓力需要作者精細調整，均勻分布在整個加工面上，力主要是作用在工件表面和磨盤之間，可以有效避免工件產生變形。

　　使用設備研磨加工平面的時候，這個數值與手工研磨加工的時候平面是相接近的，在手工研磨加工的時候工件面如果增大的話，研磨的壓力會減低，人力所產生的壓力是不能夠超過一定數值的。

　　實際研磨的時候，表面壓力要比研磨的壓力要高一些，主要是決定工件表面支承的點的多少，隨著研磨加工的進行，如果支承點的數目增加的話，其表面壓力會在同樣的壓力作用下出現相應減少。

　　在雙面研磨機上研磨工件的時候，工件與工具之間的接觸面是一條直線，所加的負荷與工件之間的長度有很大關系，這種加工要比研磨工件平面的時候要高很多。